計測システムASML
YieldStar S-200B
機械に関するデータ
価格と所在地
- 所在地:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
オファーの詳細
- 広告ID:
- A19967480
- リファレンス番号:
- DV10125
- 更新:
- 最終更新日：10.09.2025
説明
Model: S200B
Type: YieldStar
Ihsdpsxbnt Ejfx Ac Ast
Year of manufacture: 2011
Technical data:
Wafer size: 300 mm (12")
Laser source: LPPS, water cooling
General information:
The YSS200B is an optical overlay measurement system used for fast and highly precise measurement of overlay deviations on 300 mm wafers – typically for post-etch monitoring and production process control as a stand-alone system.
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