Pfeiffer C590 PVDスパッタリング装置Pfeiffer
C590
機械に関するデータ
価格と所在地
- 所在地:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, NL
機械販売
機械販売について詳しく
オファーの詳細
- 広告ID:
- A6899652
- 更新:
- 最終更新日：28.12.2024
説明
2x Pfeiffer Classic 590が登場!
価格：99.500ユーロ/個
Djdpfx Acshwv Tfsyjwc
コンフィギュレーション コーター 1:
2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) 完全オーバーホール済み
ファイファー社製DCU600
2x VAT スロットルバルブ 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 フルレンジセンサー
ファイファーTPR280 プレバキューム用
ファイファーデュオ120プレポンプ(120m3/h)
真空チャンバー。
基板サイズ丸型840mm用
遮蔽体、予備遮蔽体を含む
2倍速ビューポート
複数のフィードスルー
熱電対を含む回転式フィードスルー
赤外線ヒーター
ウォーターマニホールドプラスバルブ
ベント・パンプダウン用真空バルブなど
注意事項現在、Resistance Evaporationに使用中（使用できるボートはありません）
IP化により現在のPLC、E-cabinetは撤去。しかし、必要であれば、弊社Orange Thin Filmsは、Labviewによる自動化と新しいプロセス（Eeam-Sputtering-Evaporationなど）による完全 な改修を行うことができます。
コンフィギュレーションコーター 2:
2x Pfeiffer TPH 2201 s pc (horizontal turbo 2200ls) 完全オーバーホール済み。
ファイファー社製DCU600
2x VAT スロットルバルブ 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 フルレンジセンサー
ファイファーTPR280 プレバキューム用
ファイファーデュオ120プレポンプ(120m3/h)
真空チャンバー。
基板サイズ丸型840mm用
遮蔽体、予備遮蔽体を含む
2倍速ビューポート
複数のフィードスルー
熱電対を含む回転式フィードスルー
赤外線ヒーター
ウォーターマニホールドプラスバルブ
ベント・パンプダウン用真空バルブなど
注意事項抵抗蒸発に使用する電流（ボートは使用不可）
IP化により現在のPLC、E-cabinetは撤去。ただし：必要な場合は
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