ジェネレーターUHV deposition system
Ebeam-sputter
機械に関するデータ
価格と所在地
- 所在地:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland
オファーの詳細
- 広告ID:
- A16976251
- 更新:
- 最終更新日：02.09.2024
説明
超高真空成膜装置
チタン-金の蒸着に使用されました。
エビーム蒸着ユニット撤去
クライオポンプとプリポンプを取り外す
ロードロック
Lsdpfsuhcn Njx Ab Uehd
75mm円形サンプル用
サンプルヒーターを含む
450l/sターボ分子ポンプ (Leybold)
プロセッサーチャンバー
サイズ：幅680mm x 高さ750mm x 奥行き590mm
シールド含む
ダブルオーリングドア（一部ポンプ式）
ヒーター
低圧10-7mbar、高圧10-8mbar
電子機器
ベースライン・キャビネット（電子ビーム・ユニットを除去）
旧PLC（ポンプ/ベント用）
ガスキャビネット/水：
ガスと水用の各種バルブ/流量レデューサー
注：D&M Vacuumsystemsは、新しい電子機器とソフトウェアを含む新しいプロセス（電子ビームまたはスパッタ）にシステムをアップグレ ードすることができます。
EUR 55,000,000
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提供者
最終オンライン：昨日
登録日: 2019
16 オンライン広告
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Borken HaidaHD-B604-S 20 kN
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