ウェットプロセス装置（ウェーハ用）
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

状態

中古

所在地

ドイツ

ウェットプロセス装置（ウェーハ用） Robotechnik Europe OPTIwet ST30

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機械に関するデータ

機械名:: ウェットプロセス装置（ウェーハ用）

メーカー:: Robotechnik Europe

モデル:: OPTIwet ST30

状態:: 使用可能（中古）

価格と所在地

所在地:: Deutschland

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オファーの詳細

広告ID:: A20618495

リファレンス番号:: INNO30389

更新:: 最終更新日：26.11.2025

説明

System for wet chemical processing of wafers up to 12in, substrates up to X/Y 9in/9in, stand-alone housing, process modules, PP process chamber, 2 programmable media arms, rotational speed 1-4000rpm, acceleration ramp 1-3000rpm, spin time 1-999s, exhaust process bowl 2x DN110, chamber 2x DN110, housing 1x DN110, control 1x DN110 (each approx. 200m³/h), CDA 8+/-2bar, vacuum -0.8+/-0.2bar, nitrogen 4.0+/-0.5bar, 3 media drains, waste box for 2 concentrate wastes, reagent box with pressure vessel, 4 Julabo thermostat baths. The system was dismantled during disassembly. Viewing possible by arrangement.
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