08 マセベオンステーション + LC 脱ガスユニット

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. はじめに:
1. この文書では、以下に関する機能要件について説明します。
1.1. LCトレイ脱ガスチャンバー
1.2. LCトレイ脱ガスチャンバーは、（制御された真空チャンバー）であり、
LC液体が入ったアルミニウムトレイを真空中で脱気する
一定期間にわたって環境を冷却する（つまり、閉じ込められた空気を排出する）
真空プロファイル;
1.1.圧力設定ポイントは1.103～1.10-3mBarの間で調整可能
1.1.1.測定範囲: 1.103 – 5.10-4
1.2.時間設定ポイントは1～600分の間でステップごとに調整可能
1.2.1.脱ガス工程（D）は数分から数日かかる
1.3.排気と換気の速度は制御可能でなければならない
1.4.排気サイクル（A～D）は自動的に実行される
1.4.1.ベントステップ（E）は手動で作動させる必要がある（オペレーター）
1.5.典型的な脱ガスプロファイル
2. インテリア
2.1.ステンレス（アルミニウム）研磨加工プロセスチャンバー（内部）
2.1.1.漏洩率は議論される
2.2. LCトレイ（アダプテーション）引き出しでLCトレイを簡単に（アン）ロード（衝撃や振動なし）
移動が許可されている）、セクション2 LCトレイの寸法と付録1を参照
2.3. LCトレイは、LCのこぼれを防ぐために常に水平（ウォーターパス）にしておく必要があります。
2.4.チャンバーは、清掃やLCトレイの交換のために簡単に素早くアクセスできる必要があります。
（アン）ロード
Gksdpfxjwam Sas Aahjc
2.5.チャンバー内部は、清掃を容易にし、腐食を防止するために研磨する必要がある。
汚染および/または水分の蓄積
2.6.脱ガスサイクルのモニタリング（ウィンドウ）の可能性、すなわちLCのモニタリング
LCトレイ内の液面挙動
2.7.チャンバー材料によるプロセス汚染なし（製造）

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