ロールツーロールスパッタリング

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

スパッタリング システム GVE/Optilab: 超薄層 (ナノメートル範囲) の堆積用のロールツーロール システム。 このシステムは、さまざまな材料 (金属、透明導電層) をフィルム材料上に堆積できます。複数のスパッタリングカソードが装備されており、複数の薄い層を同時に堆積することができます。
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GVE、Bobst Ltd、Optilab、2010、それぞれ 2 つのカソード用の 3 つの堆積チャンバーを備えた真空ロールツーロール スパッタリング ツール。以下を備えています: - ウェブ幅 520 mm、インターリーブおよびデインターリーブ機能を備えた双方向巻き取り。すべてのゾーンでターボ分子ポンプ（磁気浮上）を実施します。 ドラムチラー、再加熱ユニット（-20 ～ +200 ℃）。各スパッタゾーンと巻き取りゾーンにクライオコイルを備えた 1100 ポリコールド ユニット。 GVE AC 中周波プラズマ ユニット。コーティング後の抵抗を監視するシステム。 （ウェブの中心線上で抵抗を測定）。 M/C および監視システムを制御するための Siemens WIN CC タッチ スクリーン システム 1 台。 I/R加熱ゾーン（加熱ユニット3つ）。ウェブバイアスシステム（PSUなど）。 1 世代マグネティック、2 x 20 kw パルス DC 付き。 1 つのデュアルマグネティック、2 x 10 kw パルス DC (隠しアノード付き)。 MFC など。1 x 完全に統合された PEM スパッタ制御システム。元の価格 1,450,000 ユーロ

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