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マグネトロンスパッタヘッド
MueggeMH3000S-224CV

Powerlinke (V1/V2) 制御ノード
B&RX67BC8321.L12

マグネトロンスパッタヘッド
MueggeMH3000S-225CV

+44 20 806 810 84

マグネトロンスパッタヘッド、t=1h
MueggeMH3000S-210CV

NewClassic MS スケール 12VDC 0.84A 最大 820g
Mettler ToledoMS802S/01

モーションコントローラー
BaldorNSB202-601D

レギュレーター付制御フラップバルブ
VAT61346-PAM1-0001

プロフィバス用ネットワークモジュール
BALLUFFBNI003P

フォトセル受信機
SICK AG1211493

レギュレーター付制御フラップバルブ
VAT61236-PEAP-AIG2

位置決め制御
Berger Lahr63451100024

電源
Advanced Energy3157600-003

SIMATIC マイクロボックス PC
Siemens6ES7647-7BE30-0DB0

レーザー三角測量センサーシステム
Micro EpsilonILD1800-10(214)

リニア駆動
FESTO567549

レーザー光学式CCD変位計 RS485
Micro EpsilonILD1800-100

リニア駆動
FESTO567547

平行軸
NTN SNRAXDL110ZGL16-D-130-450-E0-00XX-C-A

リニアユニット、L=650mm
FESTO32785

PLCモジュール
National Instruments152778D-01L

付属品付きリーダー、E02
Siemens6GF3540-0GE10 + 6GF3540-8AC11 + 6GF3540-8DA13 + FL-HC1214-2M

スイングゲートバルブアクチュエーター
VAT342943

RFジャンクション
Amat102172200 + 102172278

ろう付けプレート式熱交換器
Swep18236-140*2

ライトユニット DC24V 36W
CCSLDL-TP-211X200

+44 20 806 810 84