製造年: 2002, コンディション: 非常に良い(中古), 機能: 完全に稼働しています, 拝啓
PLATEGプラズマ(イオン)窒化装置を提供する機会を得ました。チャンバーはホットウォール付きです。
装置は素晴らしい状態で、完全に機能し、何の問題もなく、すぐに使用できます。
装置の特徴
- 構造寸法:2700 mm x 1250 mm x 800 mm
- チャンバー寸法直径1000 mm x 1200 mm
- 窒化バッチの最大寸法直径900 mm x 900 mm
- 設備総電力: 70 kVA
- ヒーター出力30 kW
- プラズマ供給(BIAS)の電力:30 kW
- プラズマ電源はユニポーラ、電圧0~1000V、電流0~60A、DC~33kHz、パルスオン、パルスオフ調整可能。
Lsdjvfm I Hjpfx Afxeab
- プラズマ供給装置(BIAS)は1年前のもので、ドイツから購入(El Connect社)。
- 真空ポンプPffeifer社製バキューム65
- 真空システムはPLCとHMIを備えた新しい電気キャビネットで制御
- ガス注入用4 MFC
- プラズマ窒化プロセス、ポスト酸化プロセス
プラニット社は、この装置の組立サービス、メンテナンスマニュアル、ユーザーマニュアル、技術(窒化と酸化)、サービスも提供しています 。
ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。
よろしくお願いいたします。