アルカテル アディクセン AD100K 高真空

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

アディクセン AD30K 高真空ドライポンプ
新しい強力なドライ運転ポンプです：
ADHシリーズはソーラー用として特別に設計されています。
半導体およびLED市場の厳しいプロセス用に開発されました、
ポンピング速度は600-4500 m3/hです。

半導体：高いH2送液速度
ADHシリーズの性能は、プロセスに以下の利点をもたらします：
-ADLプロセス性能：ライトガスの高いポンピング効率
プロセスステップ間のチャンバーエンプティの高速化が可能
- エピタキシーとEUV：高速ポンピングと高流量
最も厳しいプロセス仕様を満たす公差


Adixen AD30K ドライポンプ、高真空、AD 30 KL
メーカー： Alcatel Adixen
タイプ： AD30K.H
製造年： 2008

アディクセン AD100K.H
メーカー：アルカテルアディクセン
タイプ： AD100K.H
製造年: 2008

真空ポンプ
メーカー： AERZEN
タイプ： GM 2000 CM-C
回転数：6000rpm
電圧： 200-460 V
周波数(鉱物油/PFPE油): 100 c/s
最大吸引容量： 4035 m3/h
最高回転数: 5920 rpm
モーター出力 S 1 / S 6: 9/5.6 kW
製造年： 2008
重量: 345 kg

ドライポンプ
メーカー： アディクセン
タイプ：BF ADP122
製造年： 2008
出力：1.5 kW
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最大吸込容量： 95 m3/h
最大連続吸入圧力： 50 mbar
最大排気ガス過圧： 1200 mbar
冷却水： 60 l/h
回転数（ポンプ）： 3000-3600 rpm
ポンプ運転温度： 5 °C～40 °C
入口フランジ： DN 50 ISO-KF
排気フランジ: DN 40

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