ドライ真空ポンプ

ULVAC Model LR600

ここでは、アルバックドライ真空ポンプをご紹介します。
アルバックドライ真空ポンプ
荒加工ポンプのソリューション
ドライ真空ポンプ
潜熱を利用したアルバック独自のアプローチで
ポンプ本体はLR/HR/URシリーズを可能にします。
苛酷なプロセスでも高い性能を発揮します。
アルバックは、以下のような設計努力を続けています。
すべてのポンプステージで非常に均一な高温を実現しています。
このポンプファミリーは、CVDおよびエッチング用途に最適です。
アルバックのECO-SHOCKシステムとの互換性があり、さらなる省エネを実現します。
物件情報
LRシリーズは、チャージングバルブチャンバーやPVDプロセス用に設計されています。
アルバック独自のアルミ製設計により、ポンプ本体全体の温度分布を非常に均一にすることができます。
アルバックのLRシリーズは、ポンプの加熱、ガスラインの加熱、排気管の加熱を必要とする用途向けに設計されています。
優れたヘリウム汲み上げ能力
安全性とメンテナンスのしやすさを追求したキャニングモーター
最大500msの停電に耐えます。
内部部品には特別な処理が施されており、表面硬度が高く、耐食性に優れています。
これにより、腐食性ガスにさらされた際のポンプ内部部品の摩耗を防止します。
(LRシリーズ)
Si結晶成長炉などの粉末副生成物を生成するプロセスガス用に設計されています。
用のプリポンプ
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